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杂质沾污对电热器件性能影响

2014-3-5   来源:   浏览:4793

  提起杂质,人们就会觉着是脏的,不好的、有害的东西,其实不同的杂质有不同的用途,在不同的地方产生不同的影响。杂质的定义是指物体中含有非奔物质的其他物质为该物体中的杂质。


  电伴热晶体管和集成电路的制造,使用的是含有杂质的半导体材料。对于这种材料,其导电性能往往不只是决定于本征激发所产生的载流子,而是决定于材料中所含有的杂质,即决定于杂质的性质和含量多少。器件生产过程中,要遇到各种杂质,其中有些杂质对器件制造有很大的好处(指有目的的杂质掺入),.有些杂质对器件制造带来严重的危害(例如重金属离子、钠离子、油污、灰尘等),这些杂质对半导体材料制备和器件的生产有严重的破坏性,影响着材料的纯度、晶体结构的完整性、器件的性能和成品率。


  在半导体材料制备或器件生产的不同工序中,同一种杂质的作用也不一样。例如,翻和礴这两种元素,各有不同性质和作用,制造n型半导体时,磷是重要的掺杂杂质,硼则成为有害杂质,在制造P型半导体时,翻是重要的掺杂杂质,磷则成为有害杂质。在3DK晶体管生产中,有金扩散工序,金元六是掺杂的有用杂质,但在其他晶体管和集成电路的生产中,则要采取一切措施,避免金的沾污。因此,某一种杂质是有益的或是有害的,要按半导体材料制备和器件的生产需要确定。

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